AMAT(미)의 FPD(OLED용 박막장치)

기사입력 2016.10.13 10:02
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  미국 AMAT사가 발표한 2016년도 2분기(2016년 2~4월) 실적 중에서 디스플레이 장치 수주는 7억불(전4분기 대비 3.8배/전년동기대비 5.8배)이 되어서 분기 기준으로는 과거 최고를 기록하였다.

  예년 동사의 디스플레이 장치 수주는 분기 기준으로 1억~1.5억불 전후로 추이되고 있고 이번 분기 수주는 이 수준을 크게 상회하는 것이 되었다.

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OLED, 패널용 봉지장치 수주 증대

  동사에 의하면 OLED 패널용 장치 수주가 이것을 견인하고 있어서 2016년 디스플레이 장치 사업의 약 70%가 모바일용이 된다고 한다.

  동사의 OLED 패널용으로 박막 봉지 장치 등을 전개하여 2015년 10월에는 플렉시블 유기EL용으로 “Applied AKT 20K”와 “Applied AKT 40K” 2개 기종의 개발을 발표하였다. “20K”는 925×1500㎜ 기판에 “40K”는 1250×2200㎜ 기판에 각각 대응한다. 양 기종은 유기EL을 보호하기 위한 필요한 박막봉지막을 생성하는 것으로서 수분과 산소의 투과율이 아주 낮은 확산 장벽막을 설치하는 것으로서 플렉시블 유기EL의 수명을 연장할 수가 있다.

  이 봉지막은 100℃ 이하의 낮은 온도에서 박막할 수 있어서 수분 등에 접촉되어 열화된다고 하는 유기EL 재료의 위약성을 보강할 수가 있다. 또한 독자적인 화상처리 기술에 의해서 마스크 위치 결정과 박막의 정밀도 향상이 도모되어 노광과 에칭 공정을 간략하게 할 수 있어 제조비용 절감에 연계 될 수도 있다.
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