GF, 성도 신공장 300㎜ 중고 장비를 도입

기사입력 2017.06.01 12:12
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제2기로 FD-SOI


미국 GF(Global Foundry)가 중국 사천성 성도시에 건설하는 300㎜ 웨이퍼 대응의 신규공장이 우선 2018년 말에 중고 장비를 도입하여 0.13~18㎛의 생산라인을 설립한다. 성도 신공장의 주력 프로세스로 자리매김할 22㎚의 FD-SOI(Fully Depleted Silicon On Insulator)의 생산라인은 0.13~0.18㎛ 설립 후, 제2기 투자로서 2019년 말에 가동시킨다.


동사는 2017년 2월 중순 성도시에 300㎜ 공장 착공식을 개최하였다. 90억불(약 10조원)을 투자하여 성도시 고신구에 신규 공장을 건설한다. 성도공장 제1기 투자는 300㎜ 웨이퍼를 사용한 0.13~18㎛의 로직 제품을 제조한다. 일반적으로 0.13㎛ 세대 제품에는 200㎜ 웨이퍼가 사용되지만 GF는 200㎜ 라인 축소를 진행하고 있어서 동 프로세스는 싱가폴공장 300㎜ 설비를 이관하여 제조하여 왔다.


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성도 신공장 0.13~0.18㎛의 생산라인은 월능력 2만장으로 2018년 말에 설립되며 생산라인은 주로 중고 장비를 이용한다. 과거 경영 파탄한 대만 Promos Technology(무덕과기)에서 구입한 중고 장비의 미사용분인 100대를 성도공장으로 이설하며 부족분은 중고장비 시장에서 조달할 예정이다. GF는 2018년에 22㎚ FD-SOI 제조를 계획하고 있으며 22㎚의 생산라인은 신규장비를 사용하여 2019년 말에 설립하고 양산 개시는 2020년을 예정하고 있다. 당초 소규모 생산 라인을 구축하여 최종적으로 월능력 6.5만장까지 확장하며 제조기술은 독일 드레스덴공장에서 이관한다.

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