일본 주요 가스 업체의 사업 동향 2

기사입력 2017.06.01 12:21
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일본 주요 가스 업체의 사업 동향


5)Central Glass: F2/N2 혼합가스 점유율 1위 업체

 

2015년 특수가스 판매 실적은 반도체, 액정관련용의 출하가 양호하여 2014년대비 증가하였다. 특수가스는 NF3, F2/N2 혼합가스, WF6 등을 우부공장(야마구찌현)에서 생산하고 있고 50% 이상을 중국, 대만, 한국, 싱가폴 등으로 수출하고 있다. NF3는 2015년 반도체, 액정용 판매가 증가하고 가격 안정으로 수익도 개선되어 전년대비로 양호한 실적이 되었다. 생산능력은 6,000t이지만 현재 완전가동이 계속되고 있다. LPCVD 장비용 클리닝 가스인 F2/N2 혼합가스는 300㎜ 웨이퍼용 장비 표준 가스로서 2015년에 판매가 호조였다. 판매수량은 전년대비 약 10% 증가하였다.


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F2/N2 혼합가스는 세계시장에서 1위 점유율을 차지하고 있다. 장기간에 걸친 불소 가스 취급의 노-하우를 충분히 활용하여 향후 F2/N2 혼합가스의 가격 인하와 판매 확대에 전력한다고 한다.

LPCVD 장비용 클리닝 가스인 ClF3(삼플루오린화염소)도 2015년에는 안정된 수요였다. 반도체용 배선재료인 WF6은 DRAM이나 낸드 플래시용으로 판매가 호조로 2015년도는 판매수량 증가와 가격 조정으로 양호하였다. 현재는 년산능력 250t이지만 왕성한 수요에 대응하기 위해서 생산능력 증대를 준비하고 있고 2017년 1월까지는 400t 체제를 구축한다. 반도체용 특수가스는 “중기 경영계획”에 주력하여야 할 사업으로 정하고 향후 반도체 미세화 대응 등 새로운 용도를 찾아서 신규 불소 프로세스 가스 개발을 연구한다.

 

6) 다이킨(Daikin)공업

 

공조기기용도 냉매 개발에서 배양한 노-하우를 활용하여 반도체용 불소 가스 제조개발을 하고 있다. 제조거점은 요도가와 제작소(오사카)이다.


2015년은 국내외 모두가 양호하여 전년대비 10% 증대를 달성하였다. 메모리의 3D화를 위한 투자 확대나 이미지센서 증산 수요에 견인되었다. 2016년 2분기는 전년동기대비 20% 증가로 양호하며 현재 높은 수준의 수요가 지속될 것으로 보고 있다. 메모리 미세화 투자 증대로 대지진 영향을 커버하였다고 한다.


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장비용 저가 프로세스도 전반적으로 양호하다. 현재 메모리 3D화나 새로운 미세화에 대응하는 고 종횡비(A/R비) 패턴용 에칭 가스 개발을 진행하고 있으며 디바이스 업체의 요구에 따라서 제품화를 목표로 하고 있다. 차세대 프로세스가 본격 채용되는 2016년 후반~2017년도에 양산을 계획하고 있다. 또한 향후 새로운 수요 확대에 대해서 생산능력의 증대가 필요할 것으로 보고 있어서 국내외에서 공장 증설을 검토하고 있다.


2016년~2020년을 대상으로 한 중기 경영계획에서는 해외를 중심으로 사업 확대를 목표로 하고 있다. 가스 및 약액에서 새로운 미세화에 대응하는 제조설비용으로 제공하고 있는 불소수지 및 고무제품 모두 판매 확대를 도모한다.


중국의 형석 “무수 불소산” 등의 원료가격이 일시적으로 폭등하였으나 요즘에는 안정적인 추이가 되고 있다. 동사는 원재료 안정 확보를 위해서 중국의 원석 채굴회사와 합병하여 무수불산의 생산회사를 설립하여서 2011년 4월부터 강소성의 생산거점을 가동하고 있다.

 

7) Air Water Plant & Engineering(AWP)

 

종래 Air water의 전자관련 사업은 미국 Air products와 합병회사인 “대동 Air products Electronics”를 중심으로 해 오다가 2015년 12월에 완전 자회사화 하여 2016년 4월에 흡수합병 하였다. 그 이후 Air water 산업회사의 전자관련 사업부가 중심이 되어서 사업을 전개하고 있다. 또한 업무의 효율을 높이기 위해서 부서를 세분화하여 고객서비스를 하고 있어서 일부 고객은 일반산업을 담당하는 지역사업 회사로 이관하였다.


2015년은 벌크(bulk)가스, 특수가스, 특수화학 모두 성장하였으나 이익면에서는 엔화 환율 영향을 받아서 고전하였다. 특수화학은 메모리용이 성장하였다. 기기 및 서비스에서는 특수화학 재료 공급장비 설치가 증가하였다. 2016년은 벌크가스로 일본 반도체업체에서의 대형설비가 2016년 여름을 기하여 가동하였지만 스마트폰 생산대수 감소가 예상되어서 매출과 이익 모두 불투명할 것 같다.

2016~2018년의 새로운 중기경영계획에서는 본격적인 해외시장 진출을 주안점으로 하고 있다. 구체적으로는 대만을 중심으로 한 아시아 시장을 목표로 하여 선구자로서 태양전지용 재료 공급을 진행한다. 또한 해외 반도체 재료업체와 신재료 업체 개발도 하고 있다. 2016년 중에는 태국 또는 싱가폴에 판매거점을 설치할 계획이고 동남아시아 시장 개척도 진행한다. 대만, 중국 시장은 대만 파트너를 통해서 전개한다. 특수가스 사업은 세렌화수소나 암모니아 등을 액정, 태양전지용을 중심으로 공급하고 있다.


특수 화학은 첨단반도체용 실리콘 산화막 재료나 Low-k 재료 등을 공급하고 있다. LED나 고주파 디바이스용으로 암모니아, 트리메칠갈륨(TMG), 트리에칠갈륨(TEG) 등도 공급하고 있다. 기기사업에서는 메모리나 태양전지용 High-k 재료용 공급장비 개발을 진행하고 있다.


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8) 다이요 니폰 산소 (Taiyo Nippon Sanso)

 

동 사는 미쓰비시케미컬 관계사로써 전자재료 가스를 포함한 2015년 전자재료 가스 매출은 947억엔으로 전년대비 21% 증가하였다. 일본에서는 전자재료 가스 판매가 감소하였으나 한국, 중국, 대만 등 아시아 및 오세아니아는 반도체 액정용 수요가 왕성하여 전자재료 가스 판매는 동 50% 증가로 크게 성장하였다. 미국도 전자재료 가스의 판매가 호조로 매출이 동 3배로 확대하였다.


전자재료 가스의 주력제품인 NF3는 주로 일본내 액정 및 반도체 용으로 판매하고 있다. 2015년은 반도체용으로는 양호하나 액정용은 판매가 부진하였다. 전체 판매량은 전년에 비해서 감소하였다.

CIGS 태양전지용 재료 가스로 공급하고 있는 세렌화수소(H2Se)는 미국 100% 자회사인 Mattson 테네시주에서 제조하고 있는 것 외에 100% 자회사 Japan Fine products(미쯔예 공장)에서도 생산하고 있다. 년간 생산능력은 미국이 10t, 일본이 20t으로 합계 30t이다. 2015년에도 안정된 수요가 있어서 2014년에 비해서 판매량이 증가하였다.


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메모리(DRAM 및 낸드플래시)용 에칭 가스의 류화갈보닐(COS)은 일본내에서 수요가 증가하고 있다. 당초 아시아가 중심이였으나 2015년부터 미국시장에서 판매를 개시하여 일본에서도 채용이 시작되고 있다. 류화갈보닐은 해외로부터 원료를 조달하여 가와자끼 공장에서 정제, 충진을 하고 있다. 생산능력은 년간 10t 이였으나 왕성한 수요에 대응하기 위해서 2016년 5월에 20t으로 늘렸다.

최근에는 반도체용 전자재료 가스로서 지보란, 디클로로실란의 판매 확대에 주력하고 있다. 지보란은 첨단 프로세스에서 사용량이 증가하고 있어서 2015년 해외 판매량은 2014년 대비로 30% 증가하였다. 디클로로실란도 첨단 프로세스에 사용하는 에피텍셜 재료로서 수요가 증가하고 있다. 해외 판매는 2014년도와 동일한 수준이였으나 일본 판매는 플러스 성장이였다. 즉 2015년도는 류화칼보닐, 지보란, 디클로로실란 설비 가동율이 높은 수준으로 추이되고 있다.


수년전부터 시장 투입하고 있는 육염화이규소(Si2Cl6 헥사클로로디실란), 일산화질소(NO)는 2015년도에는 안정된 수요였다. 각기 낸드 플래시용 “산, 질화막 재료”로 육염화이규소는 “에포닉”이 독일에서 생산한 것을 수입 및 판매하고 있고 일산화질소는 Mattson사의 한국 관계사로부터 수입하고 있다. 수년전부터 장비업체와 협력하여 반도체용 신규 에칭 가스의 개발을 진행하고 있는데 저온난화계수 에칭 특성 향상이라는 특징이 있으며 빠르면 2016년 중에 일부 채용이 시작될 예정이다.

 

9) 데날실란(Denal Silane : 모노실란(SiH4) 전문업체)

 

동사는 텐가(구 전기화학공업)와 Air liquid 합병 회사로 20년 이상 모노실란(SiH4)의 제조 및 판매를 하고 있다. 모노실란의 용도는 크게 반도체용과 액정용, 태양전지용 3개 분야로 2014년도는 반도체용 성장이 크고 액정, 태양전지도 양호하였다.


2015년 판매가 양호한 추세여서 매출 증대와 동시에 이익 증대를 달성하였다. 일본시장을 중심으로 반도체용이 성장한 것 외에 액정용, 태양전지용으로 아시아 시장을 견인하였다. 현재 시장분야별 비율은 반도체용이 30%, 액정용이 50%, 태양전지용이 20%가 되고 있다. 2014년에 비해서 액정용 비율이 증가하였다.


세계 시장에 있어서 모노실란의 수급 균형은 2014년 이후 개선이 진전되고 있으며 2015년도는 세계 시장에서 10% 전후 증가한 것 같다. 모노실란은 청해공장(니히가타현)에서 생산하고 있다. 동 공장에서는 디클로로실란도 제조하고 있고 년간 생산능력은 모노실란이 500t, 디클로로실란이 백 수십t이다. 모노실란은 사염화규소를 원재료로 불균화법이라는 방법으로 제조하고 있다. 독자적으로 개발한 유기계 촉매를 사용한 원스톱으로 트리구조의 실란부터 모노실란을 제조하고 있다. 디클로로실란은 반도체용 산화막 수요가 왕성하여 2014년도 판매량이 전년보다 증가하였으나 2015년도는 2014년 수준을 유지하는 양상이다. 향후 수요증가가 예상되기 때문에 2016년 이후에는 증산을 검토하고 있다. 모노실란은 반도체, 액정용으로 안정된 수요가 있으나 새로운 수익원으로서 모노실란을 바탕으로 한 실리콘계 신규 재료 개발에도 노력하고 있으며 2013년도부터 반도체 미세화용 신규재료 가스를 시장에 투입하고 있다. 년산 규모는 년간 수십t 정도지만 2015년도 판매는 호조였다. 향후 부가가치가 높은 실리콘계 신규 재료를 적극적으로 개발하여 나가고 있다.

   

 

5. 최근 국내·외 반도체용 특수가스 업체 동향

 

● 국내 Big 2 반도체 특수가스 업체인 대성산업가스가 매물로 등장

 

국내 산업용 가스시장의 2위 업체인 대성산업가스(골드만삭스PIA 68%, 대성산업가스 32% 지분 소유)가 2016년 10월 시장에 매물로 나왔다. 이에 따라 국내 산업용 가스산업의 대규모 지각변동이 예상된다. 인수 후보군으로는 에어프로덕츠((미), 한국 1위), 프렉스에어((미), 한국 3위), 린데((독) 한국 5위) 등 글로벌 산업용가스 제조업체가 거론되고 있는 가운데 국내 반도체 소재업체인 SK머티리얼즈도 많은 관심을 가지고 있는 것으로 알려졌다. 최근 린데코리아가 에어리퀴드코리아((프), 한국 4위)의 산업용가스 생산시설 인수(생산시설, 저장탱크, 영업 및 공급권, 인력 등 포함) 계약을 체결하였으며 공정거래위원회 검토 등을 고려하면 12월말 최종 승인이 이루어질 전망이다. 따라서 실제 매입에 참여할 가능성이 있는 곳은 글로벌 업체로는 에어프로덕츠, 프렉스에어 2곳으로 압축되고 있으며, 이들 외에 국내 소재업체인 SK머티리얼즈(구 OCI머티리얼즈)와 사모투자펀드가 인수에 참여할 가능성이 있는 것으로 투자업계에서는 예상하고 있다. 특히 SK그룹이 SK머티리얼즈와의 시너지 효과를 위해 대성산업가스 인수에 적극 나설 것이라는 전망이 나오고 있다.

참고로 SK머티리얼즈는 NF3, WF6, SiH4 등 반도체와 디스플레이 제조공정에 사용되는 특수가스를 생산하는 업체로써, 특히 NF3 분야에서는 40%가 넘는 세계시장 점유율로 업계 1위이다. SK그룹이 지난 2015년 OCI로부터 4,816억원을 주고 인수하였으며, 2016년 3월 SK에어가스 인수, 5월에는 일본 트리케미컬사와 합작법인인 SK트리케미컬을 설립하여 반도체 산업용 가스와 프리커서(Precursor) 시장에 진출하였다. 최근에는 일본 쇼와덴코(昭和電工)와 합작법인 설립을 추진중인 것으로 알려져 있다.

 

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● 린데그룹(독), 대만 대중(臺中)에 전자가스연구개발센터를 설립

 

산업용가스 글로벌업체인 린데그룹이 지난 2016년 9월 대만 대중(臺中)에 전자가스연구개발센터를 설립하고 대만산업기술연구원(ITRI)과 전자산업용 특수가스(ESG)분야 연구에 대한 협력 계약을 체결하였다. 린데는 대만 전자가스연구개발센터에서 최첨단 분석 및 제품개발 실험을 통해 아시아·태평양 지역 고객 및 개발 협력사를 지원하고 고객들의 기술로드맵 지원에 힘쓸 예정이라고 한다. 주요 업무는 첨단 분석공정 및 품질관리시스템을 활용하여 고객들의 기술로드맵을 지원하고, 첨단 합성·정제·패키징을 위한 새로운 응용프로그램을 개발하여 제품 품질 향상에 주력하며, 현지 핵심 협력사와의 연구 네트워크를 강화할 예정이다. 참고로 린데는 현재 미국, 유럽, 중국에 연구개발센터를 운영하고 있다.


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